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真空核心零部件

APC自動控壓蝶閥
自動壓力調(diào)節(jié)蝶閥應用于真空腔室壓力調(diào)節(jié)或真空隔斷。閥板作為調(diào)節(jié)元件，不同的角度位置改變閥門通徑中氣體流導的大小，實現(xiàn)泵有效抽速的調(diào)節(jié)。自動壓力調(diào)節(jié)蝶閥根據(jù)客戶腔體容積、流量等參數(shù)，通過特殊算法，建立壓力控制參數(shù)。用戶輸入工藝壓力，自動壓力調(diào)節(jié)蝶閥根據(jù)內(nèi)部算法調(diào)整閥板位置，快速實現(xiàn)工藝壓力的動態(tài)平衡。

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